Зеленоград представил стоимость нового литографа для микроэлектроники
Первая отечественная литографическая система «Прогресс СТП-350» от Зеленоградского нанотехнологического центра (ЗНТЦ) оценивается в 392 млн рублей без НДС. С учётом расширенной пятилетней гарантии стоимость оборудования достигает 561 млн рублей.
Технические характеристики включают обработку 63 пластин диаметром 150 мм в час или 43 пластин размером 200 мм. Система работает на длине волны 365 нм, имеет рабочее поле 22×22 мм и рассчитана на эксплуатацию не менее пяти лет. Вес установки составляет 3500 кг.
По условиям поставки, срок изготовления оборудования занимает 18 месяцев после внесения 50% предоплаты. В базовую стоимость входят доставка, монтаж и обучение персонала. При отмене заказа аванс не возвращается, а отказ от готового оборудования влечёт штраф в 100% стоимости.
Эксперты отрасли высказали противоречивые оценки. Алексей Бойко, автор канала RUSmicro, отметил привлекательность цены, которая на десятки процентов ниже зарубежных аналогов. Александр Тимошенко из «Троичных технологий» считает стоимость завышенной с точки зрения рыночной экономики, но оправданной для создания технологического суверенитета.
Дополнительные опции включают:
— активную виброзащиту за 40 млн рублей;
— комплект из 24 фотошаблонов за 12 млн рублей;
— расширенное гарантийное обслуживание на два года за 58 млн рублей.
Разработка велась совместно с белорусской компанией «Планар» в рамках государственных тендеров. Следующим этапом станет создание литографа с нормой 130 нм, стоимость которого прогнозируется на уровне $6 млн. Для сравнения: аналогичное оборудование ASML стоит $15 млн, Nikon – $12 млн, SMEE – $8 млн.
В ЗНТЦ подчеркнули конфиденциальность текущих договоров и конкурентоспособность ценовой политики, обусловленной затратами на материалы и комплектующие. Вопросы сервисного обслуживания находятся в стадии проработки.
